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      微光學(xué)元件的加工能力

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      微光學(xué)元件的加工能力

      發(fā)布日期:2020-02-21 作者: 點(diǎn)擊:

      微透鏡的波段范圍覆蓋190nm~10600nm的范圍,匹配各種常用激光器的波長。每個微小透鏡/子單元的尺寸最小可以做到1um,通常在1~5000um,形狀可以為圓形、正方形、長方形、六邊形或其它用戶指定的形狀。我們可以通過套刻刻蝕的工藝完成多臺階結(jié)構(gòu)的制作,目前2臺階、4臺階、8臺階、16臺階和32臺階的工藝都已經(jīng)非常成熟,衍射效率*可以做到95%。對于連續(xù)面型結(jié)構(gòu),我們可以做到數(shù)值孔徑:0.01~0.5,面形誤差:<2%。

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