微透鏡陣列元件

      微透鏡陳列元件直徑從10微米到250微米，矢高從0.6微米到15微米，對(duì)應(yīng)的微透鏡在可見光波長(zhǎng)下焦距從80微米到1500微米，微透鏡形狀包括正方形和正六邊形。根據(jù)客戶需要，我們可以定制上述參數(shù)范圍以外的微透鏡陣列。

       微透鏡陣列元件既可用于激光分束，也可以用于激光勻束。在介紹我們的微透鏡陣列產(chǎn)品之前，我們先比較平頂整形和勻束的四種方案，這四種方案分別是平頂光束整形[flat-top beam shaping,亦稱為top-hat beam shaping, 或super-Gaussian(超高斯) beam shaping]，無暗斑勻束元件，漫射擴(kuò)散器（diffuser)勻束以及微透鏡陣列勻束。

        平頂光束整形的使用條件比較苛刻，要求激光的光束質(zhì)量好，衍射光學(xué)元件必須放在激光束特定的位置，激光束落在衍射光學(xué)元件的尺寸必須比較準(zhǔn)確。如果這些條件都滿足，則使用效果良好。

        無暗斑勻束元件和漫射擴(kuò)散器的使用條件則比平頂光束寬松得多。漫射擴(kuò)散器允許很差的入射激光光束質(zhì)量，可以在任意位置使用，激光束落在漫射擴(kuò)散器尺寸對(duì)使用效果的影響也很小，可以在很長(zhǎng)距離內(nèi)得到勻束的效果。對(duì)于高功率的激光材料加工，我們推薦使用漫射擴(kuò)散器勻束方案。無暗斑勻束元件和漫射擴(kuò)散元件的區(qū)別在于前者的輸出光束中沒有明顯的暗斑(speckles)，而后者在輸出光束中存在暗斑(speckles)。

        微透鏡陣列用于勻束的的優(yōu)點(diǎn)是可用于寬廣的波長(zhǎng)范圍，以及勻束后的輸出光束的中央沒有很亮零級(jí)。 

微折射透鏡和微衍射透鏡 

無錫奧普頓光電子制造的微透鏡陣列在焦平面的焦斑，我們可以看到焦斑非常清晰，雜斑很少

無錫奧普頓光電子制造的150x150微米微透鏡陣列。填充因子100%，焦距1500微米

無錫奧普頓光電子制造的250微米微透鏡陣列的表面輪廓。其中的離散黑點(diǎn)為理想的球面輪廓。微透鏡表面輪廓的不對(duì)稱是由于表面輪廓儀探針測(cè)量誤差所引起（表面輪廓儀可以精確地測(cè)量高度差，但是在測(cè)量連續(xù)的微透鏡表面輪廓時(shí)會(huì)有一定誤差）。微透鏡輪廓頂點(diǎn)處的曲率半徑為547微米，二次曲線常數(shù)(conic constant)約為0.5。

無錫奧普頓光電子制造的14微米微透鏡陣列的原子力顯微鏡照片。微透鏡表面輪廓的不對(duì)稱是由于原子力顯微鏡探針測(cè)量誤差所引起（原子力顯微鏡可以精確地測(cè)量高度差，但是在測(cè)量連續(xù)的微透鏡表面輪廓時(shí)會(huì)有一定誤差）

全石英材料，光明D-ZF93，全PC塑料，或石英基底PC涂層的微透鏡陣列參數(shù)：